■用途：真空蒸着装置の冷却

■機種：セパレートチラー(空冷式・５馬力相当)　

■内容
今迄は、真空蒸着装置の冷却に工水を使用していたが、水温が安定しないためチラー導入を検討。

■ポイント　
蒸着機室内は排熱不可であることと、設置スペースが限られているため一体型のチラーの設置は出来ない。
屋上には、室外機の設置スペースが取れるため、セパレートチラーを提案した。
配管は屋上ハト小屋を貫通させて施工した。

• ハト小屋：設備機器が集中する屋上に、電気配管や設備配管等を防水層を直接貫通せずに立ち上げるために必要な躯体形状の総称。